Resumo
Com a realização deste trabalho pretende-se construir microdispositivos com atuação térmica e estudar o seu comportamento. Para isto, serão construídas "micromáquinas" utilizando o DLC (Diamond Like Carbon) como material estrutural e o Si-poli (Silício Policristalino) dopado como material condutor. Serão realizados experimentos com os dispositivos utilizando microscópios óptico e de força…